電感耦合等離子體質譜－ICP-MS，是一種新型的無機元素和同位素分析技術，可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素。ICP-MS技術在分析能力上，超過傳統的無機分析技術如電感耦合等離子體光譜技術(ICPAES)、石墨爐原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技術(CVAAS)的總和，被稱為當代分析技術激動人心的發展

環境樣品分析，包括自來水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、廢棄物等的分析；
● 半導體材料分析
● 玻璃、陶瓷和礦冶等樣品分析；
● 地質學研究；
● 生物食品及醫藥臨床研究；
● 核材料分析
● 石油化工樣品分析；
● 法醫應用與研究；
● 與分離技術聯用進行環境毒理、生命科學等領域的元素價態、形態分析成為ICP-MS技術應用的一個焦點

可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素
● 低檢出限（低至ppq級）
● 分析效益/成本比上佳
● 寬線性動態范圍—可直接檢測從ppq到數百ppm濃度
● 譜線簡單、干擾小，準確度和精密度好
● 需要樣品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分鐘/樣品）
● 檢測模式靈活多樣